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库号:M348877
仪器主要技术指标: 1. 测量范围:电阻率10-3—103Ω-cm,分辩率为 10-4Ω-cm ,可扩展到105Ω-cm 方块电阻10-2—104Ω/□,分辩率为10-3Ω/□,可扩展到106Ω/□ 薄层金属电阻10-4—105Ω,分辩率为10-4Ω 2.可测半导体材料尺寸:直径Φ15—Φ125mm; 长度:150mm(可扩展500mm) 3.测量方式:轴向、断面均可 4.数字电压表:(1)量程:20mV(分辩率:10μV)、200mV、2V (2)测量误差:±0.3%读数±1字 (3)输入阻抗:大于108Ω (4)显示3 1/2 位红色发光二极管(LED)数字显示 0---1999具有极性、过载、小数点、单位自动显示 5.恒流源:由交流供电,具有良好的防泄漏隔离功能 (1) 直流电流:0—100mA连续可调 (2) 量程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA (3) 分辩率:10nA、0.1μA、1μA、10μA、0.1mA (4) 电流误差:±0.3%读数±2字 6.电性能模拟考核误差:<±0.3%符合ASTM指标 7.测试探头:(1)探针机械游移率:± 0.3% 符合ASTM 指标 8.电源:交流220V±10% 50HZ或60HZ 功率消耗< 30W 9.电气箱外形尺寸:119×440×320mm
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