产品特点:
仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率,具有高、灵敏度高以及方
便测量等特点;
光源采用氦氖激光器,功率稳定、波长高;
仪器配有生成表、查表以及计算等软件,方便用户使用。
规格与主要技术指标:
测量范围:薄膜厚度范围:1nm-300nm;折射率范围:1-10
测量值:≤1nm
入射光波长:632.8nm 光学中心高:80mm
允许样品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm
偏振器方位角范围:0°-
180°读取分辨率为0.05°
外形尺寸:680*390*320mm
测量膜厚和折射率重复性分别为:±0.5nm和±0.005
主机重量:25kg
入射角连续调节范围:20°-
90°为0.05°
成套性:主机、电控系统、计算软件
图片仅供参考