气体流量传感器 型号:
R46AWM43300V库号:M164686型 号:R46AWM43300V
量 程(sccm):+1000
压 力:--
工作电源电压(VDC)电流(mA)功率(mW):10660
外/内管径(mm):3.0/2.3
响应时间(ms):3 Max
输出电压(VDC):5±0.15@1000 sccm
零点电压(VDC):1.0±0.05
输出电压漂移-25~25℃25~85℃(%FSO):-5.0+6.0
零点漂移(mv)-25~85℃:±25
灵 敏 度(mV/sccm):5@±1000sccm
迟滞、重复性(%FSO):±0.50 max
工作温度(℃):-25~+85
存储温度(℃):-40~+90
压差(mbar):2.5@FSO
过压(mbar):150 psi max