测量范围
电阻率:0.001~200Ω.cm(可扩展); 方块电阻:0.01~2000Ω/□(可扩展); 电导率:0.005~1000 s/cm;
电阻:0.001~200Ω.cm;可测晶片直径 140mmX150mm(配S-2A型测试台); 200mmX200mm(配S-2B型测试台);
400mmX500mm(配S-2C型测试台);恒流源 电流量程分为0.1mA、1mA、10mA、100mA四档,各档电流连续可调数字电压表
量程及表示形式:000.00~199.99mV;
www.midwest-g.com 分辨力:10μV; 输入阻抗:>1000MΩ;
:±0.1% ; 显示:四位半红色发光管数字显示;极性、超量程自动显示;四探针探头基本指标 间距:1±0.01mm; 针间绝缘电阻:≥1000MΩ;
机械游移率:≤0.3%; 探针:碳化钨或高速钢Ф0.5mm; 探针压力:5~16 牛顿(总力);模拟电阻测量相对误差
0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 ( 按JJG508-87进行)