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2路质子混气系统/质量流量控制器/两路质量供混气系统 型号:WH/MXGQ-2Z 库号:M403821
  • 产品名称:2路质子混气系统/质量流量控制器/两路质量供混气系统 型号:WH/MXGQ-2Z 库号:M403821
  • 产品型号:WH/MXGQ-2Z
  • 所属类别:其他仪器仪表
  • 发布时间:2017-09-29
  • 已获点击:169
详细说明
2路质子混气系统/质量流量控制器/两路质量供混气系统 型号:WH/MXGQ-2Z
库号:M403821        

用于控制一种或两种的气体流经真空密封的管式炉,这种气体控制系统安装在移动架上,管式炉可以放在它的上面,气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀。结合微行炉业的管式炉,它可以用于CVD系统及退火炉,用来研究气体环境对材料的影响。
质量流量控制器
工作电压:220V
输出功率:18W
控制范围:
控制器1:1-199 SCCM
控制器2:1-499 SCCM
工作温度:5-45 oC
压力:3x 10^6 Pa
准确度:±1%FS
机械压力表测量范围:-0.1-0.15MPa(0.01 MPa/grid)
针型阀:304不锈钢
混气罐:Φ80*120MM
截止阀:Φ1/4 304不锈钢

外形尺寸:600*600*650MM

产品质保:质保 一年,终身售后

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