工作原理
离子减薄制样技术属于离子束加工范畴。其方法是用高能离子束轰击样品表面、高能离子与样品表面原子发生弹性碰撞、样品表面原子能量增大至高于该原子逸出功时,便飞离样品,从而使样品逐渐减薄。离子减薄仪通常用双枪从样品两侧轰击。样品随着支架旋转,使得离子束轰击均匀。
产品描述
适用性广泛,可对金属、非
金属、陶瓷、矿物、半导体、骨骼、牙齿等几乎所有固体材料进行精密减薄处理。
产品特点
v 监视系统采用聚光光源
v
减薄过程无离子束遮挡
v 观察系统设计有了防污染系统
v 结构紧凑,体积小,有防误操作系统
v
可获得十分清洁的样品,使得从样品中提取的信息更为真实可靠
技术参数
产品名称
离子减薄仪
离子束加速电压
0-10KV
连续可调
束流密度
大于 200μA/cm
减薄速度 (
铜)
30μ/h()
样品对离子束的倾角
5-90°(普通台)
0-90°(精细抛光台)
真空度
5×10-3Pa(不送气)
离子束对样品的倾角
7°(普通试样台)
2°(抛光试样台)
说明:
样品为约100u的铝箔,表面为铝的氧化物。用化学方法或者物理摩擦的方法减薄,都会非常明显的破坏样品表面形貌,甚至改变样品化学成分。
使用GL-2011型离子减薄仪减薄后,在电子显微镜下可以观察到,样品没有任何变形,而且获得完美清晰的样品图像