工作环境要求(Service
Requirements)
电源(Electricity): 1.2kW AC 220 ~ 240V 50Hz
气源 (Gas): >
0.1MPa(1kg/cm2
) 氩气
技术参数(specifications)
高压电源(High voltage
supply×2): 0 ~ 10kV (连续可调,短路保护)
离子束电流(Total current): 0 ~ 1mA
离子束掠射角(Beam
incidence angle): 0°~ 45°(双面)
自动保护(Auto-shutdown): 高压 (high voltage),
样品旋转
(specimen rotation)
抽真空速率(Pumping speeds): 分子加速泵 67L/min/ 隔膜泵
150L/min
样品(Specimen×1): 3 毫米直径 (3mm diameter)
样品减薄速率: 40μ
m/h(Cu)
重量及外形尺寸(Weight and size): 30kg,420mm×520mm×700mm