技术参数:
产品型号
CS200-A型
流量量程
5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,
1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm,50slm
产品
±0.35%F.S.(<35%
F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.)
重复
±0.2% FS
线性
±0.5%
F.S.
响应时间
≤1sec
工作温度范围
(5~45)°C
耐压
3MPa
密封材料
氟橡胶Viton
输入输出信号
(0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,RS-485,DeviceNet,Profibus
电源
±15V,24V,±8
~ ±16 VDC or +14 ~ +28
VDC
阀类型
常开(流量量程≤30slm)或常闭
温度系数
零点: ≤±0.05%
F.S/℃;
调节时: ≤±0.1% F.S/℃ 流量规格≤30SLM
调节时: ≤±0.2% F.S/℃
流量规格>30SLM
零点飘移指标
<0.6%F.S. per year without
autozero
电气连接
Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet
Male
工作压差范围
(0.05~0.35) MPa
(F.S.≤10slm),(0.1~0.35)MPa(10slm≤F.S.≤30slm),(0.2~0.45)
MPa(30slm<F.S.)
漏率
1×10-10 Pa?m3 / sec
He
标准接头形式
双卡套1/4”(满量程≤30slm),双卡套1/8”(满量程≤5slm),双卡套Φ3
(仅适用于满量程≤5slm产品),双卡套Φ6(仅适用于满量程≤30slm产品),双卡套Φ10,双卡套3/8”,VCR1/4”,VCO1/4”
表面化学成分
-
无 -
表面粗糙度
25μinch
抗电磁干扰
CE
重量
1Kg