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全自动磁控离子溅射仪 型号:M31/GVC-2000库号:M374697
  • 产品名称:全自动磁控离子溅射仪 型号:M31/GVC-2000库号:M374697
  • 产品型号:M31/GVC-2000
  • 所属类别:仪器仪表 > 其他专用仪器仪表
  • 发布时间:2023-05-24
  • 已获点击:138
详细说明
要参数
输入电压 AC220V±10%,50Hz
工作电压 DC600V
大功率(主机与机械泵) 450W
可选靶材 金、铂、银、铜、钛、铅等常用金属
真空泵 两级直联旋片式真空泵 1L/s
真空腔 约φ125×125mm
样品杯 φ64×1
整机尺寸(长×宽×高) 424×271×255(mm)
重量(主机) 11 kg
工作环境 温度 5~40℃,湿度<60%
存储环境 温度-10~60℃,湿度<80%
工作气体 Air / Ar
保护功能 过流、真空双保护

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