全自动离子溅射镀膜仪型号:HHD3-Cressington 108A库号：M346248

产品搜索

产品展示

您现在所在的位置：首页> 产品展示

产品展示

全自动离子溅射镀膜仪型号:HHD3-Cressington 108A库号：M346248

产品名称：全自动离子溅射镀膜仪型号:HHD3-Cressington 108A库号：M346248
产品型号：Cressington 108A
所属类别：其他仪器仪表
发布时间：2023-12-05
已获点击：163

详细说明

技术参数：

1.样品仓尺寸： 120mm x 120mm，高强度不锈钢玻璃结构；

2.样品台：可放置12个准EM样品座，可调高度优于 50mm；

3.溅射头：低电压平面磁控管，靶材换快速，环绕暗区护罩；

4.溅镀优点：基于微处理器反馈控制，远程电流/电压感应；提供真空安联锁装置，大180A，配有过流保护；

5.溅射控制：微处理器控制，安互锁，可调，大电流40mA，程序化数字控制；

6.靶材可选：Au、Pt、Ag、Cr、Cu、Fe等；

7.镀膜均匀性好，电流回路控制，低压直流冷态溅射镀膜，避免样品微纳结构热损伤；

8.真空系统：真空值优于10-3mbar，机械泵抽速可达4.0m3/h

9.电源：200-240 VAC, 50/60Hz

样品仓尺寸 120 mm x 120mm, 高强度硼硅酸盐钢化玻璃结构 (可选150mm)

样品台可放置12个EM样品座，可调高度优于 60mm

溅镀优点基于微处理器反馈控制，远程电流/电压感应；提供真空安联锁装置，

大180A，配有过流保护

溅射控制程序化数字控制，恒流设计

溅射头低电压平面磁控管，靶材换快速，环绕暗区护罩

靶材配金或铂，可选金/钯，铂/钯, 银, 铜, 镍, 铁等

溅射速率优于2.3nm/s (根据不同条件可调)

真空系统原装真空泵, 降噪减震设计, 10-3mbar真空度

适用配 Thermo Fisher/FEI, himadzu, Carl Zeiss, JEOL, Hitachi, Tcan, Phenom等

电镜和电子探针系统以及电极薄膜制备

序号名称描述数量

1 108A主机高性能离子溅射镀膜仪是用于扫描电镜非导电样品的镀膜设备。经济紧凑型设计容易操作，提供了快速抽真空时间，镀膜设计和对样品无热损伤。安的互锁技术提供了可灵活设定不会受真空压力影响的溅射电流。通过一个低压磁控管进行冷态溅射，喷镀。 1

2 靶材 Pt铂靶 1

3 样品仓 120mm x 120mm，高强度硼硅酸盐钢化玻璃结构 1

4 样品台可放置12个EM样品台，可调高度为60mm 1

5 操作手册中/英文操作手册; 1

6 泵高性能真空泵系统

4m3每小时抽速，10-3mbar真空度，附带减震垫的桌面式设计 1

7 KF16连接装置金属连接耦合系统 1

8 油污过滤器进口高性能油污过滤器 1

东方化玻(北京)科技有限公司

产品搜索

产品展示

客服中心

客服电话：

在线联系方式：