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光电位置传感器
(PSD)
PSD 光电位置探测器
PSD(Position Sensitive Detectors)是一种能测量光点在探测器表面上连续位置的光学探测器。PSD 由 P 衬底、PIN 光电二极管及表面电阻组成。与 CCD 探测器相比,PSD 有诸优点,如位置分辨率高,响应速度快和处理电路简单等。另外,位置信号与落在探测器上的光斑形状无关。
我所可提供各种和规格尺寸的 PSD 探测器。
特点
●位置分辨率高
●光谱响应宽
●响应速度快
●位置和光强同时测量
●不受光斑的约束
●性高
应用范围
●光学位置和角度的探测
●光学遥测系统
●位移和振动测量
●激光对中和准直
●距离测试
●人类运动姿态分析
工作原理与PSD 特点
1结构
如图 1 截面图所示,PSD 由在平面硅衬底上的三层组成:P 型层在表面,N 型层在另一面,I 层在它们中间。落在 PSD 上的入射光转换成光电子后由 P 型层上两端电极探测并形成光电流。
图 1
2原理
当一束光落在 PSD 上,相应于光能量的电荷在入射点产生,电荷通过 P 型电阻层被电极收集。P 型层是均匀一体的电阻层,被电极收集到的光电流与入射点和电极间距成反比。
由此可得出如公式:I1 和 I2 是电极的光电流,
L 和 I0 分别代表电极间距和总光电流。
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