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库号:D264255
参数 指标 石英仓尺寸 150X120MM 样品台尺寸 70mm 溅射面积 50mm 高真空度 5pa 可通气体 氩气,氮气等惰性气体 高溅射速度 8nm/min 整机功率 200W 机器尺寸 360(W)X310(D)X150mm(H)
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