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真空度测试仪是真空灭弧室的真空度的鉴定设备。它以单片计算机为主控单元,测试过程实现自动化。该仪器在原理上改变了外同类产品采用电流峰值做标定的方法,而采用离子电荷来做标定。这样,在物理原理上有的准确性,而且,地抑制了测试过程中脉冲电源的干扰,使测试稳定。
该仪器采用两次采样的方法扣除由于环境因素产生的漏电电流,并且在测量过程中考虑了漏气的真空灭弧室的判别,真正做到了对安装于整机上的真空灭弧室的准确计量。目前,该仪器中已存有26条真空灭弧室的测量标准曲线。
1、基于电离电荷的采样
真空度测试仪均采用基于电离电荷的采样。我厂在磁控放电的研究中发现:在外激励电源、真空灭弧室的几何尺寸、所用材料一定时,真空灭弧室里的真空度与电离的电荷量有非常准确的对应关系,而与电离电流的峰值仅有概率上的相关性。基于电离电荷的采样,提高了真空灭弧室的真空度计量的准确性。
2、漏电电流的处理
对处于分断状态的真空灭弧室两端加高压时,会有数值不等的几个微安的漏电电流,此漏电电流即使是同型号的真空灭弧室也有较大的个体差异。尤其是对于装在整机上的真空灭弧室,由于其周边的绝缘支撑件也有漏电,这些漏电的总和有大的不稳定性和不可预测性,并且在数值上与10E-4Pa数量级的真空灭弧室的电离电流相当。我们采用两次起动高压的方法,扣除了漏电电流,保证了无论是装于整机上还是待装的真空灭弧室的真空计量精度。
参数
1.真空度测量范围: 9.999×10-1~1×10-5
2.离子电流测量范围: 9.999×10-1~1×10-7
3.测 量 误 差: <5%
4.测 量 分 辨 率: 10-5pa
5.允许环境温度: -20℃~50℃
6.空 气 湿 度: ≤80%RH
7.电 源: AC,220V,50Hz±10%
8.外 型 尺 寸: 420×290×210(mm)
9.高 压 输 出: 脉冲≤30kV15kHz
⒑重 量: 8kg
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