匀胶旋涂仪Spin Coater 型号:WS-650Mz-23NPPB 库号：D406433

匀胶旋涂仪Spin Coater 型号:WS-650Mz-23NPPB

库号：D406433

一、设备用途和特点：
1、用途：主要用微细加工、半导体、微电子、光电子和纳米工艺中在硅片、陶瓷片上匀胶等工艺与光刻、烘烤等设备配合使用。设备能满足各类以下尺寸的基片处理要求，并配制相应的托盘夹具。验收除按方提供的标准基片外，另外可根据买方要求的 10mm 的碎片和 4 英寸的晶圆片等验收试验要求。
2、特点：
（1）外观整洁、美观，占地面积小，节省净间的使用面积；
（2）材质易于清洗和维护，设备结构布局合理，用户操作、使用、维修方便；
（3）采用成熟、的系统结构方式，确保设备工作的性；
（4）设备具备高性能、低故障率、长使用寿命、易操作维修、造型美观、售后服务完备。